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超穩定緊湊型光學差分激光干涉儀

超穩(wen)(wen)定緊湊型(xing)光(guang)學差分激光(guang)干(gan)涉(she)儀(yi)專為必須長(chang)(chang)時間執(zhi)行高度穩(wen)(wen)定的(de)長(chang)(chang)度測量的(de)應用(yong)而設(she)計(ji)(ji)。緊湊的(de)傳感器(qi)設(she)計(ji)(ji)即(ji)使在狹窄的(de)空間內也(ye)能(neng)實現長(chang)(chang)期穩(wen)(wen)定的(de)調整和(he)放置,因此精密測量系統非常適合用(yong)作閉環控(kong)制回路的(de)激光(guang)尺。

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