德國SIOS SP 5000 DI/F超穩定緊湊型光學差分激光干涉儀的簡介：
超穩(wen)定、緊湊的(de)(de)(de)(de)SP 5000 DI/F 差分(fen)干(gan)(gan)涉(she)儀專為(wei)必須長(chang)時間執行高度穩(wen)定的(de)(de)(de)(de)長(chang)度測量的(de)(de)(de)(de)應用(yong)而設計。緊湊的(de)(de)(de)(de)傳感(gan)器設計即使在狹窄的(de)(de)(de)(de)空間內也能實(shi)現長(chang)期穩(wen)定的(de)(de)(de)(de)調整和放置(zhi)，因此(ci)(ci)精密測量系統非常適合(he)用(yong)作閉環(huan)控制回路的(de)(de)(de)(de)激光尺。應用(yong)需要(yao)一(yi)個外(wai)部參考點，通(tong)常放置(zhi)在測量范(fan)圍的(de)(de)(de)(de)中間，以實(shi)現最佳的(de)(de)(de)(de)測量值穩(wen)定性。干(gan)(gan)涉(she)儀的(de)(de)(de)(de)基本原(yuan)理基于 SP 5000 DI 系列(lie)，因此(ci)(ci)也可(ke)實(shi)現亞納(na)米范(fan)圍內的(de)(de)(de)(de)長(chang)度分(fen)辨率。可(ke)以很容易地進行幾米的(de)(de)(de)(de)測量，因此(ci)(ci)可(ke)以使用(yong) SP 系列(lie)的(de)(de)(de)(de)反(fan)射器。
激光干涉儀(yi)以光波為載體，利用激光作為長度(du)基(ji)準，是迄今的(de)高(gao)精度(du)、高(gao)靈敏度(du)的(de)測量儀(yi)器(qi)，在制造領域應(ying)用廣泛。

德國SIOS SP 5000 DI/F超穩定緊湊型光學差分激光干涉儀的特點：
最高精(jing)度(du)(du)的差分長(chang)度(du)(du)或角度(du)(du)測量
通(tong)過差分測量將環境影響降至較低(di)
熱超穩定傳感器(qi)設計(ji)，溫度(du)靈(ling)敏度(du) < 10 nm/K
可(ke)以使用(yong)各種光學反(fan)射(she)器(qi)，例如球面、平面鏡反(fan)射(she)器(qi)
測量(liang)反射(she)器(qi)的大傾斜(xie)不變性
緊湊(cou)而堅固的設計
標配不(bu)銹鋼傳感器頭設計
光束距離：14 毫米
可以提供 OEM 版本、OEM 軟(ruan)件和真空版本
可用(yong)作(zuo)具有可選接口的反饋(kui)系統
廣泛的觸(chu)發(fa)選項